對于半導(dǎo)體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴(kuò)展電阻。

電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡單、操作方便，度高，對樣品的形狀無嚴(yán)格要求。

常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結(jié)果做相應(yīng)的校正。

一般目前的四探針電阻率（電導(dǎo)率）測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數(shù)值的設(shè)置，計(jì)算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。

3.1.電阻率測量范圍、分辨率

電 阻 率：10.0×10^-6～ k×200.0×10³Ω-cm 分辨率1.0×10^-6～ 0.1×10³Ω-cm,k=1～10

3.2.電阻率量程劃分及誤差等級

3.3.數(shù)字電壓表：

⑴量程：10mV ～ 100 mV，自動

⑵顯示: 4位有效數(shù)字，大顯示999.9，小數(shù)點(diǎn)、單位自動顯示

3.4.數(shù)控恒流源8檔寬量程

電流輸出：系統(tǒng)自動步進(jìn)調(diào)整，直流電流0.1μA，1.0μA，10μA，100μA，1.0mA,10mA,100mA,1.0A共8檔可調(diào)。

3.5.粉末測試臺部分參數(shù)：

（1）試樣成份：成份不限，但不得含有對測試臺和電極有腐蝕作用的成份。

（2）試樣粒度：推薦以40目以下—60目以上（標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng)），一般其他粒度也可！

（3）料杯容積：截面：S=1.0cm²

高度：0～20mm可調(diào),

（4）自動高度測試單元，測量誤差：±0.02mm。

四位有效顯示數(shù)00.00～20.00mm，分別率±0.02mm。

（5）自動壓強(qiáng)測試單元，

標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)：P₀=4Mpa±0.05Mpa。
壓強(qiáng)量程：20Mpa, P=0～20 Mpa可調(diào)。

四位有效顯示數(shù)00.00～20.00MPa，分別率±0.01 MPa。
（6）、壓力機(jī)構(gòu)采用手動操作、壓力平穩(wěn)可調(diào)。

3.6.配套PC軟件

1 USB高速通訊接口。

2帶數(shù)據(jù)庫方式存儲數(shù)據(jù)，便于歷史查詢和第三方軟件拓展共享。

3自動生成excel形式的圖表結(jié)合的測試報(bào)告,包含電阻率-壓強(qiáng)曲線圖形和詳細(xì)測試數(shù)據(jù)。

4帶測試報(bào)告預(yù)覽、編輯、打印功能。

3.7.測試儀外形與重量

前寬×長×總高=250mm×220 mm×540mm

重 量=10Kg

3.8.電源：

功 耗：< 10W

輸入:220V±10% 50Hz

3.9.本儀器工作條件為：

溫 度： 0-40℃

相對濕度： ≥60%

工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。